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[谈天说地] 电子产品净化车间设计的空气洁净度等级要什么标准

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发表于 2020-10-22 16:49:30 | 显示全部楼层 |阅读模式

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近年来信息技术产业技术应用的进步,很多电子设备功能、质里的提升和生产流程的微细化,日渐标准制造环境具备一定的空气洁净度等级和调节洁净室内工艺技术生产制造所需要的各项高纯度物质的供给品质。那么电子产品净化车间设计的空气洁净度等级要什么标准?能达到净化车间的目的吗?请跟随奥宣净化一起来了解一下吧。

现阶段国內外还没一致的电子设备的空气洁净度等级或制造环境调节标准的一致规范,各种电子设备的生产商根据其生产制造的产品种类、所选用的制作工艺技术应用、生产制造工艺设备、生产制造用原辅料以及洁净室运行的工作经验明确设计修建洁净室的空气洁净度等级。
我们来看一个薄膜晶体管彩色液晶显示器(TFT-LCD)生产制造用洁净室的案例。TFT-LCD具备体型小、品质轻、易随身携带、用电量低、色彩通真、大容量、高分辨率显示等优势,在便携笔记本、电视、摄像机、导航仪、高档游戏机、TV电话等各个领域运用日渐普遍。

TFT-LCD制作工艺较复杂,技术难度和成本均较高,对制造环境标准也较高,其工艺技术过程薄膜晶体管有矩阵工艺与大规模集成电路制作工艺相似,制作工艺对环境的空气洁净度等级、温度湿度、防微振和高纯度物质的供应等均有较严苛的标准。现以某厂TFT-LCD洁净室设计修建所选用有关生产制造环境标准举例如下。

各洁净室空气洁净度等级:控制粒子粒径为0.3μm
      清洗、涂胶、曝光间           ISO 4级
      显影、刻蚀间                     ISO 5级
      成盒间                               ISO 5级
      溅射、CVD间                     ISO 6级
温度、湿度要求
      清洗、涂胶、曝光间            23℃±1℃,55%±15%
      显影、刻蚀间                      23℃±1℃,55%±5%
      成盒间                                23℃±2℃,55%±5%
      溅射、CVD间                      23℃±1℃,55%±5%
噪声控制要求                            65dB (A)

我们再来看一个高密度磁带生产用洁净厂房,洁净无尘车间控制微粒粒径0.5μm
各洁净室的空气洁净度等级要求:
  涂布头                                  ISO 5级(局部、设备自带)
  备件、切带、带基、测试、徐布间和供干、固化间      ISO 6级
  组装、维修间和部分原料库    ISO 7级
  砂磨、化验间和配件间           ISO 8级
  成品库和部分原料库              准洁净间
各洁净室的温、湿度要求:
  要求ISO 5---7级的各洁净间   23℃±1℃,50%±5%
(其中,固化间因生产工艺特殊要求,温度为42℃±1℃,相对湿度<50%)
  要求ISO 8级的各洁净间          23℃±1℃,<50%

电子产品净化车间设计的空气洁净度等级要什么标准?能否达到净化车间的目的?现在你知道了吗?,如果你还有其他净化车间工程的问题,欢迎联系奥宣净化了解一下。
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