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9-GBT 25915.4-2010 洁净室及相关受控环境 第4部分:设计建造启动.pdf
2024-11-28 11:04 上传
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10-GBT 25915.5-2010 洁净室及相关受控环境 第5部分:运行.pdf
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11-GBT 25915.6-2010 洁净室及相关受控环境 第6部分:词汇.pdf
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12-GBT 25915.7-2010洁净室及相关受控环境 第7部分 装置(洁净风罩手套箱隔离器微环境).pdf
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GBT 25915.1-2021 洁净室及相关受控环境 第1部分:按粒子浓度划分空气洁净度等级.pdf
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GBT 25915.2-2021 洁净室及相关受控环境 第2部分 洁净室空气粒子浓度的监测.pdf
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GBT 25915.3-2024 洁净室及相关受控环境 第3部分:检测方法.pdf
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GBT 25915.8-2021 洁净室及相关受控环境 第8部分:按化学物浓度划分空气洁净度(ACC)等级.pdf
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GBT 25915.9-2018 洁净室及相关受控环境 第9部分 按粒子浓度划分表面洁净度等级.pdf
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GBT 25915.10-2021 洁净室及相关受控环境 第10部分:按化学物浓度划分表面洁净度等级.pdf
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GBT 25915.12-2021 洁净室及相关受控环境 第12部分 监测空气中纳米粒子浓度的技术要求.pdf
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GBT 25915.13-2022 洁净室及相关受控环境 第13部分:达到粒子和化学洁净度要求的表面清洁.pdf
2024-11-28 11:05 上传
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GBT 25915.14-2022 洁净室及相关受控环境 第14部分:按粒子浓度评估设备适用性.pdf
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GBT 25915.15-2022 洁净室及相关受控环境 第15部分: 按气态化学物浓度评定设备及材料.pdf
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9-GB T 25915.17-2024 洁净室及相关受控环境 第17部分:粒子沉积速率应用.pdf
2024-12-17 16:53 上传
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GBT 25915.16-2024 洁净室及相关受控环境 第16部分:提升洁净室和空气净化装置的能效.pdf
2025-1-21 13:27 上传
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