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[工程设计] 压片间、压片前室、洁净走廊之间的压差关系

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发表于 2021-7-22 08:37:08 | 显示全部楼层 |阅读模式

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请教一个问题,公司新建一个固体车间,需要过欧盟。现请教压片间、压片前室、洁净走廊之间的压差关系,应该是压片前室最大,往两边压;还是洁净走廊最大,一路往前室、压片间压?

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药徒
发表于 2021-7-22 09:53:32 | 显示全部楼层
本帖最后由 NO1 于 2021-7-22 09:57 编辑

压片前室最大,往两边压。
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药生
发表于 2021-7-22 08:51:30 | 显示全部楼层
根据ISPE,前室其实就是起到气闸的作用,一般设计三种方式,都是合理可接受的,而作为压片前室,目的是控制污染,采用气泡增压方式,就是前室对走廊和压片间均呈正压。
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大师
发表于 2021-7-22 14:42:15 | 显示全部楼层
前室应该属于正压气锁
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药徒
发表于 2021-7-22 15:11:24 | 显示全部楼层
为什么不是前室为负压隔离区
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药徒
发表于 2021-7-22 15:24:42 | 显示全部楼层
洁净走廊→前室→压片间压;产尘大的区域相对走廊等区域相对负压,这样理解即可
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药徒
发表于 2021-7-24 11:50:02 | 显示全部楼层
家康 发表于 2021-7-22 15:24
洁净走廊→前室→压片间压;产尘大的区域相对走廊等区域相对负压,这样理解即可

前室最大,压片间现对于前室是负压防止产尘外泄;洁净走廊相对于前室也是负压,保护操作间洁净度。
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药徒
发表于 2021-7-25 19:49:08 来自手机 | 显示全部楼层
进来参观一下
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药徒
发表于 2021-8-9 12:37:37 | 显示全部楼层
应该是前室最大,防止交叉污染
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大师
发表于 2021-8-23 16:37:19 | 显示全部楼层
气闸分为4种,cascade, bubble, sink, dual-compartment。
如果走廊比其他房间的压力都高的话,可以认为走廊不受污染,这样的话可以做成 洁净走廊→前室→压片间压 的形式。
如果既不想粉尘从压片进入走廊,又不想走廊的空气影响压片,就需要做bubble/sink 来隔绝。具体是用哪一种不好说,最好和QA去商量,各有利弊。
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 楼主| 发表于 2021-9-10 09:59:38 | 显示全部楼层
zackzong 发表于 2021-8-23 16:37
气闸分为4种,cascade, bubble, sink, dual-compartment。
如果走廊比其他房间的压力都高的话,可以认为走 ...

就是公司QA不给确认哪种方式,所以网上看看大家公司都是怎样的设计的。
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大师
发表于 2021-9-10 10:45:47 | 显示全部楼层
房间压力设置各种方式都有,千奇百怪的。
但是OSD一般都是 洁净走廊→压片间压,设置前室的不多。因为是D级区,不测动态的。
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药徒
发表于 2021-9-27 16:59:29 | 显示全部楼层
前室应该是正压,没毛病
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药徒
发表于 2021-9-27 21:41:21 来自手机 | 显示全部楼层
今天看了李宏业讲的课,说了这个问题,是走廊大于前室,前室大于压片
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药徒
发表于 2021-9-28 08:12:24 | 显示全部楼层
麻烦头像修改下。
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药徒
发表于 2021-9-28 08:48:46 | 显示全部楼层
应该是前室最大,防止交叉污染
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药徒
发表于 2022-9-27 08:28:10 | 显示全部楼层
根据ISPE,前室其实就是起到气闸的作用,一般设计三种方式,都是合理可接受的,但是对于控制污染来说,一般建议采用气泡增压方式,就是前室对走廊和压片间均呈正压。
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