工艺验证关键参数的监测

fudan13 · 发表于 2014-6-9 15:31:09

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请教大家，我工艺验证中关键工艺参数的监测频率一定要比生产过程中的监控频次高吗？比如我生产过程中没30分钟监测一次片中差异，哪我工艺验证中的监测频率应该定为多少呢？30分钟一次还是更短时间监测一次？

小满pgy · 发表于 2014-6-9 15:41:55

这个监测频次是根据设备的性能和产品的性质通过风险分析来定的吧，工艺验证可以和平时的监测频次一样

青城/怒云 · 发表于 2014-6-9 17:07:24

和平时一样或高于平时均行

中科院潜水院士 · 发表于 2014-6-9 17:15:38

至少应保持平时的监控频次，但适当增加监控频次应该会更合理吧（比如平时30分钟监控一次，验证时10分钟就监控一次）个人认为

Whats · 发表于 2014-6-9 21:11:02

应该不低于平时的监测频率。

fudan13 · 发表于 2014-6-10 07:57:26

非常感谢各位的不吝赐教。

，看来保持平时的监控频次是底线