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晓星 发表于 2012-11-7 21:44 设备验证主要是验证设备的性能,包括安装确认、运行确认与性能确认。与工艺相关的性能确认,是确定设备在最 ...
晓星 发表于 2012-12-9 19:33 工艺验证要充分考虑设备的性能。
piao0923 发表于 2012-11-6 10:32 工艺要靠设备才能实现,设备只有应用到工艺上才能体现其价值。 区别是:设备的前3Q一般是脱离工艺验证做。 ...
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