TC-Wafer高低温探针台晶圆测温系统 晶圆温度测量系统

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TC-Wafer高低温探针台晶圆测温系统 晶圆温度测量系统探针台是什么？
探针台是放置晶圆并进行温度控制的平台。它通常配备有多个微细探针，用于与晶圆表面的特定区域接触，以进行温度测量和电性能测试。
探针台的运作原理在于通过其探针与被测器件上的 PAD 点精确对位，以实现测试机输出激励信号的互通与信号反馈，最终获取和采集测试数据。高低温真空探针台可以很好的满足极低温测试和高温无氧化测设。在整个测试过程中，工程师们追求以最短的时间获得可靠的测试数据。

作为晶圆测试中的关键设备，探针台的运作原理在于通过其探针与被测器件上的 PAD 点精确对位，以实现测试机输出激励信号的互通与信号反馈，最终获取和采集测试数据。高低温真空探针台可以很好的满足极低温测试和高温无氧化测设。在整个测试过程中，工程师们追求以最短的时间获得可靠的测试数据。

典型的晶圆高低温测试通常涵盖温度范围从 -45°C 至 150°C，而在晶圆可靠性测试中，温度可能高达 300°C。然而，随着探针台进行温度变化，由于热膨胀和冷收缩效应，探针与卡盘之间可能会出现热漂移，从而影响探针与 PAD 点之间的对准，增加晶圆探针测试的难度。更有一些晶圆测试要求在极端温度环境下，甚至达到 500°C 以上。随着温度的升高，探针台也将面临更大的温度范围测试压力。

智测电子TC-Wafer高低温探针台晶圆测温系统 晶圆温度测量系统应用于高低温晶圆探针台，测量精度可达mk级别，可以多区测量晶圆特定位置的温度真实值，也可以精准描绘晶圆整体的温度分布情况，还可以监控半导体设备控温过程中晶圆发生的温度变化，了解升温、降温以及恒温过程中设备的有效性。

智测电子还提供整个实验室过程的有线温度计量，保证温度传感器的长期测量精度。

合肥智测电子致力于高精度温测、温控设备的生产和研发定制，为半导体设备提供可靠的国产解决方案。

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永恩

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