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(因检测仪器不同,整篇有删节)
1. 检测方法原理1.1 高效过滤器的检漏采用PAO发生器在滤器上游发尘,使用光度计检测过滤器上下游气溶胶浓度来判定过滤器是否有泄漏。发尘的目的是因高效过滤器上游尘粒浓度较低,仅用粒子计数器在不发尘的情况下检测,较难发现有泄漏,需补充发尘才能明显、容易地发现泄漏。 1.2 PAO发生器可分为热发生器和冷发生器两种。热发生器是利用蒸发冷凝的原理,被雾化的气溶胶粒子用加热器蒸发,并在特定条件下冷凝成微小液滴,去掉过大和过小的液滴后留下 0.3μm 左右的雾状PAO进入风道,粒径分布在 0.1μm ~0.3μm;冷发生器是指利用压缩空气在液体中鼓气泡,经 laskin 喷管飞溅产生物态的多分散相 PAO气溶胶,最大分布粒径在0.65μm 左右。 1.3 高效过滤器检漏中使用的检测仪器是气溶胶光度计,是一种前散射线性光度计,它由真空泵、光散射室、光电倍增管、信号处理转换器和微处理器等组成。其工作原理是:当气流被真空泵抽至光散射室时,其中的颗粒物质散射光线至光电倍增管。在光电倍增管中,光被转换成电信号,此信号经放大和数字化后由微处理器分析,从而测定散射光的强度。通过与参比物质产生的信号的对比,可以直接测量气体中颗粒物质的质量浓度。 2. 测试准备2.1 仪器与试剂 表1:PAO检漏的仪器、材料:(略) 2.2 检测条件确认 2.2.1 检漏前高效过滤器已完成风量测试或风速测试,其测试结果符合设计要求。 2.2.2 在对高效过滤器进行检漏前,将高效过滤器的散流板拆下并按位置做好记号。 2.3 检测设备安装 2.3.1 检漏测试设备的选择 检漏测试设备主要有悬浮粒子发生器、光度计、PAO气溶胶、压缩气体(或氮气)。根据高效过滤器所在系统的风量大小选择合适的悬浮粒子发生器。 2.3.2 检漏测试设备的安装 高效过滤器泄漏检测时需要在高效过滤器上游进行发尘,根据高效过滤器所处系统的不同选择不同的发尘方式。为使气溶胶到达 HEPA 时的浓度均匀,可将气溶胶直接从系统风机的负压一侧引入,例如: Ø 超净工作台、生物安全柜、层流罩的高效过滤器泄漏检测时从系统风机负压一侧发尘;传递窗可将发尘管从回风口伸入发尘; Ø 洁净空调系统高效过滤器泄漏检测时,可选择从空调机箱或送风口单元处发尘;从空调机箱发尘选择大发尘量的发生器,从送风口单元发尘则使用小发尘量的发生器也可以。 3. 检测操作步骤 3.1 连接好仪器上的各种管口。发烟管接到过滤器自带的发烟快接头上,上游采样管接到采样快接头上。(注:使用自带发烟口检测口的高效过滤器) 3.2 把充好气溶剂的发烟装置按照2.3.2项的描述进行发尘。(详见仪器的操作SOP) 3.3在距高效过滤器端面2~4cm下方以3~5cm/s匀速平移逐行扫描。扫描应包括过滤器滤面及边框。 3.4 如无泄漏则通过,如泄漏率异常增大或超过0.01%,返回该处重新扫描,查到泄漏后需进行修复或更换,直至检测合格为止。 4. 测试结果观察4.1 高效过滤器泄漏率应小于等于 0.01%。若HEPA在检测过程中,所有点的 %LEAKAGE(泄漏率%)都不超过0.01%,则判该HEPA合格,若有一处% LEAKAGE(泄漏率%)超过0.01%,则判为不合格,并将该点标记出来,需修补或更换。高效过滤器滤料泄漏处允许用专用胶水修补,但是单个泄漏处的面积不能大于总面积的1%,全部泄漏处的面积不能大于总面积的5%,否则必须更换。 4.2 合格标准:车间A/B级房间与洁净设备的高效过滤器的穿透率应小于0.01%,C/D级高效过滤器的穿透率应小于0.03%。
仪器不同操作方法不同,请参阅各自的仪器操作说明书编写SOP
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