气冷式罗茨真空本工作原理

踏雪伯仲真空 · 发表于 2012-5-22 08:20:58

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气冷式罗茨真空泵工作原理

ZJQ系列气冷式罗茨真空泵的结构如图所示。在泵腔内，有二个转子（两叶或多叶）安装在一对平行轴上，由传动比为1的一对齿轮带动作彼此反向的同步旋转运动。在转子之间，转子与泵壳内壁之间，保持有一定的间隙，可以实现高转速运行。与ZJ系列普通罗茨真空泵相比，ZJQ系列气冷式罗茨真空泵在泵体侧面适当位置设计有回流口，将冷却的气体导入泵腔内以冷却转子，使转子温度保持在规定的范围内，因此ZJQ系列气冷式罗茨真空泵可承受更高的压差（可达90kPa）而不会发生过热。	图1~图9为ZJQ气冷式罗茨真空泵工作过程：　　如图1，在旋转过程中，泵上方的空腔逐渐变大，气体被吸入；转至图2时，左转子从泵入口封入V0体积的气体；当转至图3时，V0腔与回流管路接通，此时因排气侧压力要高于V0腔，因此排气口气体被换热器冷却后返流至V0腔；图4~图6，冷却气体充分进入V0腔并与转子进行换热；当转至图7时，V0腔与排气口接通，开始排气过程；从图7至图9可看出排气口阴影部分逐渐变小，左转子封入的气体连同返流的气体一起排出泵外。　　当转至图5时，右转子也从泵入口封入V0体积的气体，其工作过程与左转子相同。　　转子主轴旋转一周共排出6个V0体积的气体。
图1	图2	图3
图4	图5	图6
图7	图8	图9