关于高效检漏PAO油是否污染洁净环境的疑问？

周圈圈

在ISO 14644.3-2019标准中，高效检漏可以使用光度计法和粒子计数法两种方式，两者挑战实验都需要上游进行气溶胶发尘大致原理都差不多。最主要的区别是光度计检测的是质量浓度，上游浓度要求10-100 ug/L，扫描漏点值一般是0.01%，而粒子检漏法上游浓度是颗粒数浓度，ISO法规要求0.3μm上游颗粒浓度达到42.5万颗/L，扫描漏点值需要经过计算是以具体的颗粒数为准；然而光度计法需要的最低浓度10ug/L，虽然无法直接同等换算成颗粒物浓度，但是有厂家做过对比测试，大致10ug/L能达到粒子的400万颗/L的高浓度，可见粒子法上游气溶胶对过滤器的污染较小，同样过滤效率的过滤器漏至下游洁净室的污染物也相对较少。所以现在有些企业接受了粒子法的高效检漏，还有一点粒子检漏计数器他平时还能给房间测个洁净度，自净时间什么的，比光度计泛用性更广。

胖点Gf

185234329 发表于 2025-12-20 16:46
我真的还在用悬浮粒子计数器呢，领导不同意换。兄弟，推荐个仪器名称和型号呗。我再去磨磨领导。

ATI国内总代，很高兴为您介绍和服务--18626295919

胖点Gf

一枚小药徒 发表于 2025-12-20 16:42
除了pao发烟以外，还有其余可以做自净测试的方法吗？

有的，使用PSL 0.5um的溶液，这个更好，但是成本大大提升

胖点Gf

致之于行 发表于 2025-12-22 13:13
请教一个问题，冷发时候，房间高效或者层流罩，遇到过浓度低于10PPM的时候吗?我们换气次数比较高，经常出 ...

有喷口连接器吧，6D发生器那段的管子可以变短加粗的，可以改善一点，到高效端接一个适合的变径

ch3b388968

火舞精灵 发表于 2025-12-19 10:07
学习了，不过我个人对这种方式还是难以接受的，洁净区要的是符合要求的洁净环境，而洁净区环境判定标准并 ...

没有人要你个人接受，也没感觉你学到啥

ch3b388968

wzzz2008 发表于 2025-12-18 14:53
不在洁净区，还有必要要检漏吗

必须检，买来个东西，总不能发个烂的给我吧

wzzz2008

ch3b388968 发表于 2025-12-25 14:44
必须检，买来个东西，总不能发个烂的给我吧

你的理解，和我要表述的，可能不是一个方向